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소재의 비전
소재단독제공
기술제공/시장성 범위
척
흡착척 / 부분흡착척
대진척 / 핀척
포러스척 / 기공척
진공척 / 분할진공척
웨이퍼척 / 히팅척
대형척 / 절연척
대형/구조물 제작
Guide Bar,Guide Beam
3D 구조물
Si3n4대형 / 블랙세라믹대형
고정밀Stage
SIC,Alumina,MMC 구조물
블랙세라믹(핀척)
MMC사용범위
Bar,Beam,Stage 등 다양한형태 제작
핀척(PIN CHUCK)
Dummy Wafer
기존 SIC,Alumina대체소재
반도체부품
방산업계 테스트중 (defense contractor) 테스트중
기타 소재취급 범위(특수금속포함)
노비나이트(CD-5)/하스텔로이/Lex zero/
Super Invar/Invar36/Invar42
AIN170/y2o3/si3n4/Sic/R-Sic/Si-Sic
LEN금형
블랙,마시나블,마코,BN세라믹
단열재 세라믹
